ITO靶材
ITO平面靶材 & ITO旋转靶材
性能参数
外观:均匀、黑色组成比例In2O3:SnO2(%wt) =90:10/95:5/97:3纯度: ≥99.99%
相对密度:≥99.5%电 阻 率:≤1.6X10-4 Ω·cm
主要应用
采用磁控溅射的方法,将ITO靶材溅射到镀膜玻璃或其它基板上形成ITO膜。广泛应用于平板显示器(LCD,PDP,TP,LED, OLED)、太阳能电池和功能性玻璃等领域。ITO蒸镀靶材的应用:采用蒸镀镀膜的方法制作ITO导电膜,应用与LCD、LED等领域。